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ナノ・ピコメートル計測制御研究室
教授／明田川 正人
技術職員／吉田 昌弘
- 半導体や電子部品の小型化を支える超精密計測制御
- ものさしの目盛りをピコメートルに
- （分解能の追及）まだやるかい？
明田川 正人 先生
明田川先生は企業で研究院としての経験があり、幅広い分野の経験と知識をお持ちです。学生居室に何度も顔を出してくださり、研究で困った際にはいつも的確なアドバイスをしてくれます。
研究内容
本研究室では、半導体製造装置に使われるような超精密領域での計測・制御技術の開発について研究を進めています。現在は以下の3テーマについて研究に取り組んでいます。
[1] ピコメートルオーダーの分解能を持った正弦波位相変調干渉計の開発
[2] 深層学習で空気揺らぎを補償するレーザ直線計の開発
[3] 走査型トンネル顕微鏡でグラファイトの結晶格子間隔を捉え、それ以下の補間法を検証
[1] ピコメートルオーダーの分解能を持った正弦波位相変調干渉計の開発
[2] 深層学習で空気揺らぎを補償するレーザ直線計の開発
[3] 走査型トンネル顕微鏡でグラファイトの結晶格子間隔を捉え、それ以下の補間法を検証
実験室の様子
研究室について
明田川研究室では週二回ゼミがあり、1つが英語論文を輪読する「雑誌会」、もう一つが研究の進捗状況を報告し、意見を交換する「進捗報告会」です。コアタイムは無いですが、しっかりと進捗は出す必要があるので、各自が計画を立て、主体的に研究に取り組んでいます。学生間や先生との交流が多く、不明なことがあってもすぐに相談できる環境です。また、スキー旅行などのイベントもあり、研究も遊びも全力で取り組む研究室です。
学生居室の様子
修論・卒論テーマ
- （修）1次元変位と2次元面内変位が測定可能な高剛性正弦波位相変調干渉計の試作
- （修）走査型トンネル顕微鏡とグラファイト結晶格子を用いた格子間隔補間法の開発
- （修）真直度測定機におけるディープラーニングを用いた補償方法の開発と教師データ取得装置の試作
博士後期課程
修了者数
10名
こんな研究機関、企業に就職しました
- 日立情報通信エンジニアリング（株）
- シンワ測定（株）
- 北海道大学（大）
- ミネベアミツミ（株）
- 村田製作所（株）
- クボタ（株）
- TDK（株）
- 信越化学工業（株）
- 三菱電機（株）
- ローム（株）
- YKK（株）
- ファナック（株）
- ミツトヨ（株）
- いすゞ自動車（株）
- 群馬工業高等専門学校（独）
- 前川製作所（株）
- 日本精機（株）
- 東芝インフラシステムズ（株）
