本研究室では、放電プラズマフロー中に生成する不安定分子種(フリーラジカル)を高分解能レーザー分光法を用いて高感度に検出し、その分光特性を詳細に調べています。また、放電プラズマを用いてアモルファス窒化炭素(a‐CNx)薄膜を作成しています。アモルファス窒化炭素薄膜の特徴として高硬度、電界放出特性等があげられ、次世代の高機能性材料として実用化が期待されています。実際にアモルファス窒化炭素薄膜を合成することで、プラズマの分光計測に基づいてその生成メカニズム及び特性について調べています。
レーザー装置とマイクロ波プラズマCVD装置