本研究室では、ナノ (10億分の1)、ピコ (1兆分の1) メートルオーダでの計測制御の手法を検討し、ナノテクノロジの発展に貢献することを目標としています。現在、以下のような内容について研究しています。
[1] ヘテロダイン干渉計の変位情報を含む位相を直接検出し、その分解能を0.001度 (633 nm光源でサブピコメートル) とすることを目指す
[2] 空気揺らぎの特性を解析し、これを補償するレーザ直線計の開発を行う
[3] グラファイトの結晶格子間隔 (0.25 nm) を走査型トンネル顕微鏡 (STM) で捉え、これを基準とするスケールの開発

リニアスケール校正装置の外観