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分子・プラズマ物理化学研究室

准教授/伊藤 治彦

准教授伊藤 治彦

研究者総覧 長岡技術科学大学 研究者総覧
J-GLOBAL
  • プラズマで材料の未来を切り開け!
  • プラズマに潜む可能性
  • プラズマで作る新素材

うちの先生

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伊藤 治彦 先生
プラズマを用いた薄膜合成と、それらが生成する反応機構を研究しています。また、プラズマで生成したフリーラジカルを、レーザーなどを用いた精密な手法で検出し、それらの薄膜がどのようなメカニズムで生成するかを詳細に調査しています。

研究内容

本研究室では、放電プラズマフロー中に生成する不安定分子種(フリーラジカル)を高分解能レーザー分光法を用いて高感度に検出し、その分光特性を詳細に調べています。また、放電プラズマを用いてアモルファス窒化炭素(a-CNx)薄膜を作成しています。アモルファス窒化炭素薄膜の特徴として高硬度、電界放出特性等があげられ、次世代の高機能性材料として実用化が期待されています。実際にアモルファス窒化炭素薄膜を合成することで、プラズマの分光計測に基づいてその生成メカニズム及び特性について調べています。

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レーザー装置とマイクロ波プラズマCVD装置

研究室の一日

研究室へ来ると、実験準備として真空ポンプを動かすところから始まります。装置を排気する間の待ち時間では他に時間が空いている人と話したり、研究室内での雑務やゼミの準備をしています。使う装置によって実験時間は変わるため、帰宅時間はメンバーによってバラバラです。実験が終わった後にメンバーで外食に行くこともあります。研究室でのスケジュールは各自に任されているため、自主性を養うにはいい研究室であると思います。

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マイクロ波プラズマCVD装置

修論・卒論テーマ

  • (卒)マイクロ波プラズマCVDによるCH3CNを原料とするa-CNx:H薄膜の製膜
  • (修)C₆H₁₄ / N₂混合気体のマイクロ波放電を用いたa-CNx:H膜の作製
  • (博)プラズマCVDを用いたアモルファス炭素系薄膜材料の形成プロセスの解析と構造評価

博士後期課程修了者数 2名

こんな研究機関、企業に就職しました

  • ダイヤメット
  • YKK
  • ユニオンツール
  • 日本製鋼所
  • 警視庁
  • アドテックエンジニアリング
  • CGCジャパン
  • 綜合警備保障
  • 富士通コンポーネント
物質材料工学専攻 M2 平松 拳也(鶴岡高専出身)