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結晶工学研究室
教授／會田 英雄
- 次世代半導体デバイスの実現
- ダイヤモンドの結晶成長
- ナノスケールでの単結晶基板加工技術開発
會田 英雄 先生
會田先生は、研究に熱心な先生です。学生一人ひとり親身にアドバイスをしてくれます。また、学生の自主性を尊重し、研究内容の裁量を学生に与えてくださるので、自分の興味を追求したい学生におすすめです。
研究内容
次世代半導体材料であるSiC、GaN、ダイヤモンドを用いた結晶基板の研究開発を行っています。これらの材料は、従来のシリコンよりも優れた性能を持つ一方で、非常に硬く化学的に安定であるため、効率的な加工技術が確立されていません。そこで基板加工技術の開発を通じて、これらの材料の実用化に貢献することを目指しています。また、ダイヤモンドについては、半導体デバイスに必要な大型の単結晶を得ることが困難であるため、結晶成長技術にも注力し、高品質な大型基板の作製に取り組んでいます。
次世代を担うオプトエレクトロニクス単結晶材料
研究室について
本研究室では、実験や測定に使用する最新機器が揃っており、さらに実験に必要な機材があれば先生に提案することで随時導入していただけるようになっています。また毎週のゼミでは、先生から直接フィードバックをもらうことができます。加えて学生居室には複数名の研究員の方々が在籍しており、研究で困ったことがあれば的確なアドバイスをもらうことが可能です。理想的な環境が整えられているため、進んで研究したくなる研究室となっています。
様々な席があるフリーアドレス制の学生居室
修論・卒論テーマ
- （修）プラズマ援用化学機械研磨におけるプラズマ活性種生成およびその加工界面作用の検証
- （修）精密機械研磨によりSiC基板に導入された加工変質層の構造推定
博士後期課程
修了者数
0名
こんな研究機関、企業に就職しました
- 山洋電気（株）
- 信越化学工業（株）
- （株）大真空
- 日本板硝子（株）
- 日本精工（株）
- （株）日本製鉄所
- （株）荏原製作所
- キオクシア（株）
- 新光電気工業（株）
- 不二越機械工業（株）
- ルネサスエレクトロニクス（株）
- （株）アライドマテリアル
